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日立全自動型原子力顯微鏡

產品時間:2022-05-06

簡要描述:

日立全自動型原子力顯微鏡
AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高,配備4英寸自動馬達臺
的全自動型原子力顯微鏡。設備在懸臂更換,激光對中,測試參數設置等環節上提供全自動操作平臺。新開發的高精度掃描器和低噪音3軸感應器使測量精度大幅提高。并且,通過SEM-AFM共享坐標樣品臺可輕松實現同一視野的相互觀察分析。

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日立5500M全自動型原子力顯微鏡


AFM5500M是操作性和測量精度大幅提高,配備4英寸自動馬達臺

的全自動型原子力顯微鏡。設備在懸臂更換,激光對中,測試參數設置等環節上提供全自動操作平臺。新開發的高精度掃描器和低噪音3軸感應器使測量精度大幅提高。并且,通過SEM-AFM共享坐標樣品臺可輕松實現同一視野的相互觀察分析。

特點

1. 自動化功能

  • 高度集成自動化功能追求高效率檢測

  • 降低檢測中的人為操作誤差

 
 4英寸自動馬達臺

自動更換懸臂功能

2. 可靠性

排除機械原因造成的誤差

大范圍水平掃描

采用管型掃描器的原子力顯微鏡,針對掃描器圓弧運動所產生的曲面,通常通過軟件校正方式獲得平面數據。但是,用軟件校正方式不能完全消除掃描器圓弧運動的影響,圖片上經常發生扭曲效果。
AFM5500M搭載了全新研發的水平掃描器,可實現不受圓弧運動影響的準確測試。
 

樣品 :硅片上的非晶硅薄膜

高精角度測量

普通的原子力顯微鏡所采用的掃描器,在豎直伸縮的時候,會發生彎曲(crosstalk)。這是圖像在水平方向產生形貌誤差的直接原因。
AFM5500M中搭載的全新掃描器,在豎直方向上不會發生彎曲(crosstalk) ,可以得到水平方向沒有扭曲影響的正確圖像。

樣品 : 太陽能電池(由于其晶體取向具有對稱結構)

  • 使用AFM5100N(開環控制)時

3. 融合性

親密融合其他檢測分析方式

通過SEM-AFM的共享坐標樣品臺,可實現在同一視野快速的觀察分析樣品的表面形貌,結構,成分,物理特性等。

SEM-AFM在同一視野觀察實例(樣品:石墨烯/SiO2

上圖是AFM5500M拍攝的形貌像(AFM像)和電位像(KFM像)分別和SEM圖像疊加的應用數據。

  •     通過分析AFM圖像可以判斷,SEM對比度表征石墨烯層的厚薄。

  •     石墨烯層數不同導致表面電位(功函數)的反差。

  •      SEM圖像對比度不同,可以通過SPM的高精度3D形貌測量和物理特性分析找到其原因。

與其他顯微鏡以及分析儀器聯用正在不斷開發中。

日立科學儀器有限公司為您提供日立5500M全自動型原子力顯微鏡的參數、價格、型號、原理等信息,日立5500M全自動型原子力顯微鏡產地為日本、品牌為日立,型號為 AFM5500M ,價格為面議,更多相關信息可,公司客服電話7*24小時為您服務


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